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2020-4-3 14:20:07
先進半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的卓越晶圓清洗設(shè)備供應(yīng)商——盛美半導(dǎo)體設(shè)備（納斯達(dá)克：ACMR），本周發(fā)布了立式爐設(shè)備（Ultra Furnace）——公司首臺為多種干法工藝應(yīng)用開發(fā)的系統(tǒng)。公司研發(fā)的首臺立式爐設(shè)備優(yōu)化后可實現(xiàn)高性能低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD），同時該設(shè)備平臺還可延伸至氧化和退火，以及原子層沉積(ALD)等應(yīng)用。此次的立式爐設(shè)備也展現(xiàn)了盛美中國和韓國研發(fā)團隊為時兩年的合作成果。
“先進技術(shù)節(jié)點帶來了持續(xù)的挑戰(zhàn)，這就要求設(shè)備供應(yīng)商進行創(chuàng)新，而這種市場環(huán)境給盛美提供了重要的機會。” 盛美半導(dǎo)體設(shè)備董事長王暉表示：“不斷創(chuàng)新是盛美的DNA。我們發(fā)現(xiàn)了一個可以從我們的技術(shù)中獲益的市場需求，我們就將我們的技術(shù)延伸至該新細(xì)分市場，在盛美已建立的濕法工藝產(chǎn)品系列上增加了Ultra Furnace立式爐產(chǎn)品系列，通過為客戶的先進產(chǎn)品提供整體解決方案，同時也增加了我們的市場機遇。”
“Ultra Furnace立式爐產(chǎn)品是由我們中韓兩國的專家團隊合作開發(fā)差異化技術(shù)的成果。”盛美半導(dǎo)體韓國公司首席執(zhí)行官金泳律說：“盛美韓國團隊的成立讓我們優(yōu)秀的上海團隊如虎添翼，加快了我們進軍市場的速度，并為本土客戶提供出色的技術(shù)支持。”
沉積工藝是指，在高溫下化學(xué)氣體在晶圓表面上反應(yīng)形成氧化硅或者氮化硅膜層。Ultra Furnace立式爐系統(tǒng)可用于批量處理多至100片12英寸（300毫米）晶圓。創(chuàng)新的系統(tǒng)設(shè)計使用了新開發(fā)的硬件，提高了耐用性，同時搭載了盛美成熟的軟件技術(shù)、自研的控制系統(tǒng)和算法。這些特點保證了設(shè)備能穩(wěn)定地控制制程壓力、氣體流量和溫度。
目前盛美Ultra Furnace立式爐主要面向LPCVD工藝市場，后續(xù)只需對其組件和布局進行一些局部變更，就可滿足其它目標(biāo)應(yīng)用需求。85%左右的硬件配置可保持不變，所以面向新應(yīng)用的變動可有效地實現(xiàn)。
盛美半導(dǎo)體Ultra Furnace立式爐目標(biāo)市場以中國大陸為起點，逐步向韓國和中國臺灣市場推進。盛美已于2020年初，向中國一家重要的邏輯客戶的制造工廠交付了公司產(chǎn)研的第一臺Ultra Furnace。該設(shè)備用于LPCVD，目前已經(jīng)在客戶端安裝并進行驗證。
