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  • 槽式濕法清洗設(shè)備

    應(yīng)用于集成電路的濕法工藝

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    應(yīng)用于雙大馬士革電鍍工藝

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    應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體制造

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    應(yīng)用于LPCVD、氧化、退火和ALD

  • PECVD設(shè)備

    應(yīng)用于邏輯和存儲(chǔ)芯片制造
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