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濕法設(shè)備出貨量再創(chuàng)新高,突破三千腔大關(guān)
慶祝盛美上海ECP設(shè)備500電鍍腔順利交付!
盛美上海前道銅互連電鍍設(shè)備榮獲第五屆“集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新獎”
盛美上海與客戶簽訂Ultra ECP ap高速電鍍設(shè)備批量采購合同
盛美上海18腔300mm Ultra C VI單晶圓清洗設(shè)備投入量產(chǎn)
盛美上海:澄清公告